爱安德介绍 晶圆盒污染评估
晶圆盒污染评估晶圆盒内部污染评估A1.挥发性有机物测试分析方法：使用惰性气体将晶圆盒内部进行净化后，利用TENAX取样管在一定释放温度下进行长时间取样（取样过程需注意取样管的有机物穿透的可能性）。最终使用热脱附（TD）结合气相色谱质谱联用仪（GCMS）的分析技术，对有机物进行定性及定量分析。
