爱安德分享金属离子沾污分析
2024-08-10 16:26:33
webAdmin
爱安德分享金属离子沾污分析
分析方法：将一定量提取液（金属离子在酸性条件下比较稳定）注入晶圆盒，在一定条件下振摇后使得所有内表面均被提取液浸润完全，对提取液进行ICPMSMS分析（金属含量非常低，需要使用最高灵敏度的仪器才有可能保证准确性和稳定性）。
A3.离子沾污分析
分析方法：与金属离子类似，只是使用不同提取液，最终用离子色谱（IC）进行分析，此处不做过多赘述。
A4.颗粒物模拟老化试验
分析方法：1.使用DIW对晶圆盒内颗粒物进行提取，使用颗粒物计数仪(LPC)进行颗粒物分析.2.模拟在一定时间下的高温情况，对晶圆盒进行多次颗粒物提取及计数分析。
A5. 气密性测试
分析方法：利用氧气分析仪和温湿度仪在FOUP中记录不同时间的数据，观察气密性