爱安德分享FOUP/FOSB晶圆盒分析评估方案

2024-08-10 16:24:41 webAdmin

常规料盒评估项目包括：
料盒关键尺寸评估
料盒可靠性评估
  l 开关门可靠性测试
  l 耐高温可靠性测试
  l 温度循环可靠性测试
料盒材料的评估
  l 挥发性有机物测试
   l 金属离子沾污分析
   l 离子沾污分析
   l 颗粒物模拟老化试验
   l 气密性测试

1.为什么要对FOUP/FOSB进行污染分析
FOUP（前开式晶圆传送盒Front Opening Unified Pod）/FOSB（前开式晶圆出货盒Front Opening Shipping Box）是晶圆运输转移重要的媒介，如果晶圆盒存在各种形式的污染，会导致晶圆本身洁净度存在风险，从而对良率产生影响。例如工艺过程中的污染沾污、晶圆本身的金属沾污、晶圆盒材料释放、对接设备产生的灰尘等。