爱安德介绍有关曝光设备的其他信息
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1、曝光设备分享
2018年，半导体曝光设备制造商来自欧洲（84%）和日本（14%），几乎以欧洲和日本制造商为主。此外，液晶显示器的FPD（平板显示器）曝光设备几乎由两家日本厂商主导。
半导体光刻设备据说是历史上最精密的机器，最新的半导体已经小型化，芯片上的布线宽度（工艺规则）已减少到3至5纳米。
对于FPD曝光设备来说，最新设备的线宽在几微米或更小，并且这些设备逐年变得更薄、更大，设备也变得更精密、更大，以创造出更漂亮和高清晰度的图像。它正在进步。
2. 关于EUV曝光设备
在半导体光刻设备中，EUV（Extreme Ultraviolet）光刻设备使用被称为极紫外线的极短波长光。
这使得能够加工更精细的尺寸，这是使用 ArF 准分子激光的传统半导体曝光设备难以加工的。半导体小型化正在按照摩尔定律进行（半导体集成电路的高度集成度和功能将在三年内提高四倍）。
到目前为止，通过称为步进曝光机的缩小投影曝光技术、更短的曝光波长和浸没式曝光技术的发展，分辨率已得到显着提高。小型化是指晶圆上可印刷的最小加工尺寸变得更小，最小加工尺寸R由下面的瑞利方程表示。
R=k·λ/NA *k为比例常数，λ为曝光波长，NA为曝光光学系统的数值孔径
通过各种技术的发展，通过减小k、减小λ和增大NA来实现小型化。 EUV曝光设备是一种可以通过缩短曝光波长来突破以往限制的技术，近年来已开始量产。
3.关于FPD曝光设备
FPD（平板显示器）是液晶显示器、等离子显示器、有机EL显示器等，在家庭和城镇随处可见，包括智能手机、平板电脑和家用平板电视。
FPD曝光设备是用于制造平板显示器的设备。原理与半导体制造设备相同。它用光照射光掩模，通过透镜将电路图案曝光到玻璃板上，形成阵列。 。
我们还创建了在显示器上生成图像和视频的滤色器，并将它们与阵列组合以完成显示。彩色滤光片是表达图像和视频颜色的滤光片。将基于颜料的彩色抗蚀剂涂在玻璃上并进行曝光和显影。