爱安德热销 压力控制器UPC-4CW2-C150H

系列概览

工作原理 内置压力传感器保持压力恒定。

应用
可以使用电信号设置任何压力。
当多个质量流量单位连接到一根管线时，必须调节压力，以便气体流量的突然波动不会影响其他质量流量单位。
可用作冷却晶圆背面的控制器。
用于下游压力控制。

规格
压力范围 FS 13.3kPa (100Torr), FS 150/300/500kPa 绝对值
供给压力 0 至 200kPaG, 至 897.3kPaG
供给电压 模拟: ±15VDC (120mA)
DeviceNet: +11 至 +25VDC, 4.0W
输出信号 0 ~ 10VDC、0~5VDC

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