爱安德热销 ULVAC爱发科去氧排气真空泵CRYO-U4H
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爱安德热销 ULVAC爱发科去氧排气真空泵CRYO-U4H
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ULVAC Cryo已应用于电子、光学、太阳能、核聚变、太空开发等众多领域，并积累了良好的业绩记录。
特征
4 型低温泵提供最佳的排气特性。
高抽速有助于提高抽气效率和生产率。
特别适用于半导体制造设备和小型设备中的溅射工艺。
一台压缩机最多可运行 4 台泵。
我们可以根据您的应用设计和制造产品。
外形尺寸（单位：mm）
规格
| 抽速（20℃） | 氮 | 升/秒 | 450 |
| 氢 | 500 | ||
| 氩气 | 370 | ||
| 水 | 1,100 | ||
| 极限压力 | 帕 | 10 -7 | |
| 最大流量 | 氩气 | 帕・升/秒 | 1.3× 103 |
| 排气量 | 氩气 | 朋友 | 1.0×10 7 |
| 氢 | 1.5× 105 | ||
| 冷却时间 | 分钟(50/60Hz) | 45/50 | |
| 大量的 | 公斤 | 14.5 | |