爱安德热销 ULVAC爱发科去氧排气真空泵VTS-350X
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爱安德热销 ULVAC爱发科去氧排气真空泵VTS-350X
爱安德热销 ULVAC爱发科去氧排气真空泵VTS-350X
爱安德热销 ULVAC爱发科去氧排气真空泵VTS-350X
产品特征
无需停止主泵即可打开真空室。
由于部件少，例如使用三通阀，因此维护很容易。
真空计等选件可存放在同一个支架中。
该排气系统配有脚轮，移动方便。
配有调节器，确保安装安全。
规格
模型 | VTS-350M/X |
极限压力 | 10 -4 Pa级 10 -5 Pa（使用液氮时） |
主泵 | 涡轮分子泵 345 升/秒 |
辅助泵 | 涡旋泵 250 升/分钟 |
主阀 | 100A蝶阀 |
辅助阀 | 三通阀 |
进气口 | VG-100 |
大量的 | 135公斤 |
最大尺寸（宽 x 深 x 高） | 730毫米（宽）×584毫米（深）×804毫米（高） |
*可选配电离真空计、皮拉尼真空计、液氮阱、进气法兰。 |
公用事业
模型 | VTS-350M/X |
所需电量 | 单相100V 0.9kVA |
接地端子 | D级（接地电阻值/100MΩ以下） |
争夺 | 乙烯基捕获电缆（带 R3.5-4 压接端子）4m |
尺寸图
排气系统图
