ULVAC爱发科

爱安德热销 ULVAC爱发科涡轮VG200分子泵UTM3400A

爱安德热销 ULVAC爱发科涡轮VG200分子泵UTM3400A爱安德热销 ULVAC爱发科涡轮VG200分子泵UTM3400A爱安德热销 ULVAC爱发科涡轮VG200分子泵UTM3400A产品特征泵体和控制器一体化,省去了泵体和控制器之间繁琐的接线工作。自由安装方向由于安装方向没有限制,因此设备设计的自由度增加。产品阵容包括抽速 1000L/s 至 3000L/s。适用于轻工艺的广域高流量设计

爱安德热销 ULVAC爱发科涡轮VG200分子泵UTM3400A

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爱安德热销 ULVAC爱发科涡轮VG200分子泵UTM3400A


产品特征

  • 泵体和控制器一体化,
    省去了泵体和控制器之间繁琐的接线工作。

  • 自由安装方向
    由于安装方向没有限制,因此设备设计的自由度增加。

  • 产品阵容包括抽速 1000L/s 至 3000L/s。

  • 适用于轻工艺的广域高流量设计


  • 泵转速可在25%至100%范围内变化,腔室压力可调节。

  • 高耐用性和安全性
    通过了各种安全确认测试,包括大气进入测试和着陆测试。

目的

  • 各种设备的真空主排气系统
    - 半导体制造设备
    - 气相沉积设备
    - 溅射设备
    - 分析设备、实验设备等
    - 研发设备

  • 不产生副反应产物的轻工艺主排气系统

  • 更换配备油扩散泵的设备

  • 其他一般高真空排气应用

规格

模型UTM1200AUTM1600AUTM2300AUTM3400A
进气口VG150ISO160FVG200VG250ISO200FISO250FVG250ISO250FVG300VG350ISO320F
排气口KF40
极限压力*110 -7
排气速度*2*3氮气1030升/秒1400升/秒2100升/秒3200升/秒
氩气980升/秒1330升/秒2000升/秒3100升/秒
氢2660 升/秒750升/秒1380 升/秒2100升/秒
压缩率氮气2× 1081×10 8个以上1×10 9个以上
7× 1035× 1031×10 5
氢28× 1029× 1026× 103
最大入口压力*426帕4.5帕7帕
最大排气口压力*4266 帕200帕270帕
转数37200 分钟-133700 分钟-127600 分钟-1
变速功能运行速度可在泵指定速度的 25% 至 100% 之间变化。 (设置以 0.1% 为增量) 
启动时间8分钟内9分钟内16分钟内
安装方向可全方位安装
表面处理*5没有任何
外部控制远程接口

D-sub 25 针母触点输入/输出D-sub 37 针母触点输入/输出
串行接口

RS232C/RS485专用圆形连接器D-sub9针公头RS232C/RS485
控制器作品与泵体一体化(内置于底部)
电源单相AC200~240V±10%(50/60Hz±2Hz)
最大所需功率0.75kVA1.2kVA
冷却方式水冷
冷却水*6流量3~4升/分钟
水压力0.2~0.4MPaG
噪音57分贝(A)60分贝(A)
大量的43公斤41公斤56公斤94公斤
推荐辅助泵*7600L/min以上1500L/min以上
兼容标准CE、TUV
标准配件进气口 O 型圈(仅限 VG)、排气口防尘盖、遥控连接器、使用说明书(CD-ROM) 
选定规格交流电缆AC连接器/AC电缆(5m/10m/15m/20m)
固定泵的专用螺栓M10/M12
固定泵需要专用螺栓吗?必需品(M10)*8不需要 *8
可选配件气口适配器:KF10
*1 表示顺序。
*2 不含保护网的值。
*3 UTM2300A和UTM3400A为计算值。
*4 最大进气口压力和最大排气口压力条件不能同时满足。
*5 请勿流通反应性气体或腐蚀性气体。如需其他气体请联系我们。
*6 无结露。
*7 吸力 30SCCM 时。
*8 螺栓强度、固定方法等条件多种多样。详情请参阅规格。

尺寸图

UTM-MI_size.png







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