爱安德热销 ULVAC爱发科涡轮VG200分子泵UTM3400A
爱安德热销 ULVAC爱发科涡轮VG200分子泵UTM3400A爱安德热销 ULVAC爱发科涡轮VG200分子泵UTM3400A爱安德热销 ULVAC爱发科涡轮VG200分子泵UTM3400A产品特征泵体和控制器一体化，省去了泵体和控制器之间繁琐的接线工作。自由安装方向由于安装方向没有限制，因此设备设计的自由度增加。产品阵容包括抽速 1000L/s 至 3000L/s。适用于轻工艺的广域高流量设计
爱安德热销 ULVAC爱发科涡轮VG200分子泵UTM3400A
爱安德热销 ULVAC爱发科涡轮VG200分子泵UTM3400A
爱安德热销 ULVAC爱发科涡轮VG200分子泵UTM3400A
产品特征
泵体和控制器一体化，
省去了泵体和控制器之间繁琐的接线工作。自由安装方向
由于安装方向没有限制，因此设备设计的自由度增加。产品阵容包括抽速 1000L/s 至 3000L/s。
适用于轻工艺的广域高流量设计
泵转速可在25%至100%范围内变化，腔室压力可调节。高耐用性和安全性
通过了各种安全确认测试，包括大气进入测试和着陆测试。
目的
各种设备的真空主排气系统
- 半导体制造设备
- 气相沉积设备
- 溅射设备
- 分析设备、实验设备等
- 研发设备不产生副反应产物的轻工艺主排气系统
更换配备油扩散泵的设备
其他一般高真空排气应用
规格
| 模型 | UTM1200A | UTM1600A | UTM2300A | UTM3400A | ||||||||
| 进气口 | VG150 | ISO160F | VG200 | VG250 | ISO200F | ISO250F | VG250 | ISO250F | VG300 | VG350 | ISO320F | |
| 排气口 | KF40 | |||||||||||
| 极限压力*1 | 10 -7帕 | |||||||||||
| 排气速度*2*3 | 氮气 | 1030升/秒 | 1400升/秒 | 2100升/秒 | 3200升/秒 | |||||||
| 氩气 | 980升/秒 | 1330升/秒 | 2000升/秒 | 3100升/秒 | ||||||||
| 氢2 | 660 升/秒 | 750升/秒 | 1380 升/秒 | 2100升/秒 | ||||||||
| 压缩率 | 氮气 | 2× 108 | 1×10 8个以上 | 1×10 9个以上 | ||||||||
| 他 | 7× 103 | 5× 103 | 1×10 5 | |||||||||
| 氢2 | 8× 102 | 9× 102 | 6× 103 | |||||||||
| 最大入口压力*4 | 26帕 | 4.5帕 | 7帕 | |||||||||
| 最大排气口压力*4 | 266 帕 | 200帕 | 270帕 | |||||||||
| 转数 | 37200 分钟-1 | 33700 分钟-1 | 27600 分钟-1 | |||||||||
| 变速功能 | 运行速度可在泵指定速度的 25% 至 100% 之间变化。 （设置以 0.1% 为增量） | |||||||||||
| 启动时间 | 8分钟内 | 9分钟内 | 16分钟内 | |||||||||
| 安装方向 | 可全方位安装 | |||||||||||
| 表面处理*5 | 没有任何 | |||||||||||
| 外部控制 | 远程接口 | D-sub 25 针母触点输入/输出 | D-sub 37 针母触点输入/输出 | |||||||||
| 串行接口 | RS232C/RS485专用圆形连接器 | D-sub9针公头RS232C/RS485 | ||||||||||
| 控制器 | 作品 | 与泵体一体化（内置于底部） | ||||||||||
| 电源 | 单相AC200～240V±10%（50/60Hz±2Hz） | |||||||||||
| 最大所需功率 | 0.75kVA | 1.2kVA | ||||||||||
| 冷却方式 | 水冷 | |||||||||||
| 冷却水*6 | 流量 | 3～4升/分钟 | ||||||||||
| 水压力 | 0.2～0.4MPaG | |||||||||||
| 噪音 | 57分贝(A) | 60分贝(A) | ||||||||||
| 大量的 | 43公斤 | 41公斤 | 56公斤 | 94公斤 | ||||||||
| 推荐辅助泵*7 | 600L/min以上 | 1500L/min以上 | ||||||||||
| 兼容标准 | CE、TUV | |||||||||||
| 标准配件 | 进气口 O 型圈（仅限 VG）、排气口防尘盖、遥控连接器、使用说明书（CD-ROM） | |||||||||||
| 选定规格 | 交流电缆 | AC连接器/AC电缆（5m/10m/15m/20m） | ||||||||||
| 固定泵的专用螺栓 | M10/M12 | |||||||||||
| 固定泵需要专用螺栓吗？ | 必需品（M10）*8 | 不需要 *8 | ||||||||||
| 可选配件 | 气口适配器：KF10 | |||||||||||
*1 表示顺序。
*2 不含保护网的值。
*3 UTM2300A和UTM3400A为计算值。
*4 最大进气口压力和最大排气口压力条件不能同时满足。
*5 请勿流通反应性气体或腐蚀性气体。如需其他气体请联系我们。
*6 无结露。
*7 吸力 30SCCM 时。
*8 螺栓强度、固定方法等条件多种多样。详情请参阅规格。
*2 不含保护网的值。
*3 UTM2300A和UTM3400A为计算值。
*4 最大进气口压力和最大排气口压力条件不能同时满足。
*5 请勿流通反应性气体或腐蚀性气体。如需其他气体请联系我们。
*6 无结露。
*7 吸力 30SCCM 时。
*8 螺栓强度、固定方法等条件多种多样。详情请参阅规格。
尺寸图
