ULVAC爱发科

爱安德热销 ULVAC爱发科真空计精品传感器SH200-R

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爱安德热销 ULVAC爱发科真空计精品传感器SH200-R

爱安德热销 ULVAC爱发科真空计精品传感器SH200-R

爱安德热销 ULVAC爱发科真空计精品传感器SH200-R


产品特征:

  • 可连接不同测量范围的探头:多离子计允许根据应用选择探头。

  • 紧凑:明显小于传统产品(控制器体积减少 56%),世界最小级别

  • 提高可用性:可通过 PC/智能手机连接进行设定点设置、状态确认等

  • 产品阵容丰富:除了模拟输出规格(SH200-A)和串行通信规格(SH200-R)外,还将增加EtherCAT规格(SH200-E)。

  • 灯丝寿命通知功能:通过监控灯丝功率,可以提前通知灯丝寿命。

  • 压力测量范围广:可测量大气压至高真空范围(1×10 +5~ 5×10 -8 Pa)(连接选购件 SWU10-R 时)

  • 精确的大气压力测量:可以检查腔室开口的大气压力(当连接可选单元 SAU 时)

目的

  • 用于半导体和电子元件等各种制造设备的高真空区域的过程控制。

  • 用于检查直列式、单晶圆式等具有多个处理室的各种制造设备的高真空区域的极限压力。

  • 用于高真空和超高真空设备中的压力测量

规格

模型SH200-ASH200-RSH200-E(预定发售)
规格标准规格串行通讯规格EtherCAT规格
适应性强的多离子规传感器M-44(NW16)、M-45(NW25)、M-46(ICF070)
可连接的传感器多离子压力传感器:1 件
皮拉尼压力计 SWU10-R:1 件(可选)
大气压力传感器 SAU:1 件(可选)
重复性(N 2SH200单模:±2%
采样时间60ms 5次移动平均处理
测量值输出输出电压 DC 0 至 10V LOG 输出 0.75V/1 位
压力转换公式 V=7.25+0.75×(LogP-2) P=10^{(V-7.25)/0.75+2}
更新时间60毫秒
控制输入信号FIL ON/OFF、FIL 1/2、DEGAS ON/OFF
集电极开路输入、负逻辑
* FIL ON/OFF 信号的使用方法因模式而异
--
控制输出信号传感器错误、设定值 1/2/3、发射有效、
灯丝功率监控
额定值:最大24V 、最大50mA 、饱和电压 1V
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串行通讯规格-RS232C/RS-485EtherCAT
LED显示屏POWER/ERROR:电源、错误 LED(闪烁状态根据每种模式而变化)
SET1:设定点 1 LED
SET2:设定点 2 LED
SET3:设定点 3 LED
--
发射电流1mA(1×10 -3 Pa以下)、10μA(1×10 -3 Pa以上)
脱气电子轰击法(电子轰击)1mA,330V
传感器耐压2×10 + 5Pa(绝对压力) * 必须单独考虑法兰、卡箍等的耐压性能。
传感器内容积17厘米3(M-44)、19厘米3(M-45)、17厘米3(M-46)
工作温度限制10~50℃
工作湿度范围15 至 80%(无冷凝)
储存温度-20~65℃(不通电时不结露)
IP防护等级IP30
电源电压DC20~28V(纹波、噪声1%以下),8W以下
输入/输出连接器D-sub15针(M2.6螺丝)
大量的控制器:约280g 测量点(M-44、M-45):80g、(M-46):300g
外形尺寸 宽×深×高69mm×63mm×90mm(控制器部分)
兼容标准C.E.
选项



多离子计传感器M-44(NW16)、M-45(NW25)、M-46(ICF070)
材质:灯丝 1,2 -Ir/Y 2 O 3涂层
其他:PtC-Mo、SUS304、W、Kovar 玻璃、Kovar/Ni电镀
皮拉尼压力计SWU10-R *也兼容传统SPU
皮拉尼压力传感器SWP-16 (NW16)、SWP-25 (NW25)、SWP-R1/8 (R1/8)、SWP-P18 (Φ18 管端)、SWP-P15 (Φ15 管端)
材质:灯丝 - Pt、其他 - BS/Ni,镀层,Ni,焊料
大气压力传感器SAU(NW16) 材质:SUS316L
单元电缆GUC-200P(用于 SWU):0.5m、1m、2m
GUC-200A(用于 SAU):0.5m、1m、2m
显示单元1CH:ISG1(使用DC24V供电)
显示单元电缆SH200至显示单元电缆
2m、5m、10m、15m、20m、25m、30m、35m、40m
连接器输入/输出连接器(D-sub15-soket(M2.6mm螺丝))
其他的检验报告、一般校准测试报告、JCSS校准证书





每种模式的规格

SH200-A/SH200-R/SH200-E可采用三种方式使用:多油表独立模式、与皮拉尼表组合模式、皮拉尼表与大气压力传感器三重组合模式。

模式SH200-A/SH200-R/SH200-E
单模
SH200-A/SH200-R/SH200-E
+SWU10-R
组合模式
SH200-A/SH200-R/SH200-E
+SWU10-R+SAU
组合模式
测量压力范围5.0×10 -8 ~1.0×10 +1 Pa5.0×10 -8 ~1.0×10 +5 Pa5.0×10 -8 ~1.0×10 +5 Pa
测量精度5.0×10 -8 ~1.0×10 +1 Pa:
±15%
5.0×10 -8~4.0×10 -1 Pa:±15%
4.0×10 -1~3.0×10 +0 Pa:±10~±15%
3.0×10 +0~1.0×10 +4 Pa:±10 %
1.0×10 +4~1.0×10 +5Pa:±20%
5.0×10 -8~4.0×10 -1 Pa:±15%
4.0×10 -1~3.0×10 +0 Pa:±10~±15%
3.0×10 +0~1.0×10 +4 Pa:±10 %
1.0×10 +4 ~3.0×10 +5 Pa: ±3%FS (3.0×10 +3 Pa·参考温度25℃)
连接图SH200_S.pngSH200+SWU10-R.pngSH200+SWU10-R+SAU.png
测量压力范围图像SH200_i.png

当需要“大气压”确认时,例如打开腔室时,使用三重组合。


计算机/智能手机连接图像

SH200_手机+PC.png



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