ULVAC爱发科

爱安德热销 ULVAC爱发科真空计传感器单元SC1

爱安德热销 ULVAC爱发科真空计传感器单元SC1爱安德热销 ULVAC爱发科真空计传感器单元SC1爱安德热销 ULVAC爱发科真空计传感器单元SC1特征测量头与测量电路一体化结构模拟和设定点输出独立的伪对数输出和设定值输出(显示单元)采用 DIN 标准尺寸 48 x 96mm(显示单元)目的用于半导体、电子元件等各种制造设备的过程控制用于熔炉等各种工业设备的过程控制用于在线型、单晶圆型等具有多个

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特征

  • 测量头与测量电路一体化结构

  • 模拟和设定点输出

  • 独立的伪对数输出和设定值输出(显示单元)

  • 采用 DIN 标准尺寸 48 x 96mm(显示单元)

目的

  • 用于半导体、电子元件等各种制造设备的过程控制

  • 用于熔炉等各种工业设备的过程控制

  • 用于在线型、单晶圆型等具有多个处理室的各种制造设备的过程控制。

规格

类型传感器单元
模型SC1
自适应探头C-21, 23, 24, 25
测量压力范围1.0×10 -5 ~ 1.0帕
测量精度+100%、-50%(1.0×10 -4至 1.0×10 -1
工作温度限制10~40℃
测量值输出非线性输出:DC0V~10V(HV-OFF时10V)
SETPOINT1/2 调节输出非线性输出:DC0至10V
控制输入信号高压开/关
输出信号集电极开路,负逻辑
控制输出信号放电确认/设定点 1/2
LED显示屏功率、HV、压力保护、设定值 1/2
电源DC24V±2V,150mA
输入/输出连接器D-sub-15 针(M2.6 螺丝)
身体质量430g(不含测量头)
配件1组输入/输出连接器



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