CANON-ANELVA佳能

爱安德直销 日本CANON-ANELVA佳能真空計M-351PG-SP

爱安德直销 日本CANON-ANELVA佳能真空計M-351PG-SP爱安德直销 日本CANON-ANELVA佳能真空計M-351PG-SP爱安德直销 日本CANON-ANELVA佳能真空計M-351PG-SP产品特征该型号使用Ni丝来提高耐腐蚀性,并与RIE和CVD等硬工艺设备兼容。产品特点1. 提高耐腐蚀性 采用 Ni 灯丝等2. 再现性好,价格低廉从 3.5×10-2 Pa 到大气压应用1.

爱安德直销 日本CANON-ANELVA佳能真空計M-351PG-SP

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产品特征

该型号使用Ni丝来提高耐腐蚀性,并与RIE和CVD等硬工艺设备兼容。


产品特点

1. 提高耐腐蚀性 采用 Ni 灯丝等

2. 再现性好,价格低廉

从 3.5×10-2 Pa 到大气压


应用

1. 半导体、电子器件制造设备

2. 干式蚀刻设备、等离子体 CVD 设备、LD- CVD设备等

3.食品、药品制造设备

4.真空冷冻干燥、真空蒸馏设备、灭菌设备等


型 名M-351PG-SP
(镍丝规格)(带设定点型)
测量压力范围5×10 -2 ~ 1×10 (帕)
精度(Pa)±50%:5×10 -2  ~ 1×10 -1
±15%:1×10 -1  ~ 1×10 4
±50%:1×10  ~ 1×10 5
再现性±2% : 1×10 -1  ~ 1×10 Pa
输入电压直流+14~30V
消费电力2瓦
模拟输出0~10V
表计识别电阻值13 KΩ(D-sub 引脚 5 和 9 之间)
设定点2接点出力(1 A 30 V,DC)
界面
输入/输出连接器D-sub9针
最大电缆长度兼容200 m (0.34 mm 2 ) *1
工作温度限制5~60℃
储存温度范围-20 ~ 70 ℃(非动作时)
烘烤温度<+150 ℃(O型圈规格,仅测头)
<+300 ℃(金属密封规格,仅测头)
允许过载压力1 MPa(仅限于接头形状NPT、仅限于惰性气体、绝压)
兼容的皮拉尼传感器型号名称MP-2
法兰形状NW16、NW25、1/8NPT
传感器材料(主要部分) 皮拉尼灯丝:镍
传感器管:不锈钢
引入端子绝缘:Kovar 玻璃 + Al 3涂层



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