爱安德直销 日本CANON-ANELVA佳能真空計M-351PG
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爱安德直销 日本CANON-ANELVA佳能真空計M-351PG
爱安德直销 日本CANON-ANELVA佳能真空計M-351PG
爱安德直销 日本CANON-ANELVA佳能真空計M-351PG
产品特征
该型号使用Ni丝来提高耐腐蚀性，并与RIE和CVD等硬工艺设备兼容。
产品特点
1. 提高耐腐蚀性 采用 Ni 灯丝等
2. 再现性好，价格低廉
从 3.5×10-2 Pa 到大气压
应用
1. 半导体、电子器件制造设备
2. 干式蚀刻设备、等离子体 CVD 设备、LD- CVD设备等
3.食品、药品制造设备
4.真空冷冻干燥、真空蒸馏设备、灭菌设备等
| 型 名 | M-351PG-SP （镍丝规格）（带设定点型） |
|---|---|
| 测量压力范围 | 5×10 -2 ～ 1×10 5 （帕） |
| 精度（Pa） | ±50％：5×10 -2 ～ 1×10 -1 ±15％：1×10 -1 ～ 1×10 4 ±50％：1×10 4 ～ 1×10 5 |
| 再现性 | ±2％ ： 1×10 -1 ～ 1×10 4 Pa |
| 输入电压 | 直流+14～30V |
| 消费电力 | 2瓦 |
| 模拟输出 | 0～10V |
| 表计识别电阻值 | 13 KΩ（D-sub 引脚 5 和 9 之间） |
| 设定点 | 2接点出力（1 A 30 V,DC） |
| 界面 | － |
| 输入/输出连接器 | D-sub9针 |
| 最大电缆长度 | 兼容200 m (0.34 mm 2 ) *1 |
| 工作温度限制 | 5～60℃ |
| 储存温度范围 | -20 ～ 70 ℃（非动作时） |
| 烘烤温度 | ＜+150 ℃（O型圈规格，仅测头） ＜＋300 ℃（金属密封规格，仅测头） |
| 允许过载压力 | 1 MPa（仅限于接头形状NPT、仅限于惰性气体、绝压） |
| 兼容的皮拉尼传感器型号名称 | MP-2 |
| 法兰形状 | NW16、NW25、1/8NPT |
| 传感器材料（主要部分） | 皮拉尼灯丝：镍 传感器管：不锈钢 引入端子绝缘：Kovar 玻璃 + Al 2 O 3涂层 |