TORAY东丽 日本进口 --氧气浓度计MS-510(转换器)
TORAY东丽 日本进口 --氧气浓度计MS-510(转换器)TORAY东丽 日本进口 --氧气浓度计MS-510(转换器)TORAY东丽 日本进口 --氧气浓度计MS-510(转换器)氧气浓度计MS-500最多可同时测量 8 个点可显示从 ppm 级到 100% 的多种浓度。最适合安装在半导体制造设备、真空设备等上。直插式传感器(真空NW法兰16/25/40)高耐用传感器采用特殊涂层,进一步提高
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测量原理 | 氧化锆浓差电池类型 | ||
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形状 | 分体式(传感器:壁挂式、传感器:直插式) | ||
显示方式 | 数字4位显示(浓度显示) | ||
测量范围 | 0-1 / 10 / 100 / 1000ppm / 1 / 10 / 100vol%O 2 10 -20 ~10 -0 atm 自动量程 | ||
重复性 | ±0.5%FS 0-1% 量程或更高 ,以及 ±1%FS 或 ±0.1ppm(以较大者为准) 小于 0-1% 量程 0-1ppm,atm 范围超出保证浓度范围 | ||
测量点数 | 1-8 | ||
样气条件 | 压力 | 10 -3 ~200KPa(绝压) | |
流量 | 0.5至5,000mL/min或0mL/min(自然扩散状态的测量) | ||
湿度 | 露点低于环境温度 | ||
温度 | 0~100℃ | ||
其他的 | 不含腐蚀性气体(氟气、氯气、硫化物气体等)、含有机硅的气体、可燃性成分(包括瓦斯)、油类、水分。 | ||
比较气体 | 气氛 | ||
录音机输出 | 仅传输输出 | ||
变速输出 | RS-232C | ||
报警输出 | 没有任何 | ||
热身时间 | 6分钟内 | ||
尺寸 | MS-500(控制器) | 92(宽)×44(高)×120(深)(不含突出部分) | |
MS-510(转换器) | 100(宽)×40(高)×88(深)(不含突出部分) | ||
传感器单元 | SD16NW | 总长100mm(传感部分Φ11×39、本体部分Φ40×51) | |
SD25NW | 总长100mm(传感部分Φ11×42、本体部分Φ40×48) | ||
SD40NW | 总长100mm(传感部分Φ11×41、本体部分Φ40×49) | ||
大量的 | MS-500(控制器) | 约0.6公斤 | |
MS-510(转换器) | 约0.5公斤 | ||
传感器单元 | SD16NW | 约0.2公斤 | |
SD25NW | 约0.2公斤 | ||
SD40NW | 约0.35公斤 | ||
外部连接 | 任一真空法兰(NW16、25、40) | ||
使用电源 | 24VDC±10% |