TORAY东丽

TORAY东丽 日本进口 --氧气浓度计 MS-500

TORAY东丽 日本进口 --氧气浓度计 MS-500TORAY东丽 日本进口 --氧气浓度计 MS-500TORAY东丽 日本进口 --氧气浓度计 MS-500氧气浓度计MS-500最多可同时测量 8 个点可显示从 ppm 级到 100% 的多种浓度。最适合安装在半导体制造设备、真空设备等上。直插式传感器(真空NW法兰16/25/40)高耐用传感器采用特殊涂层,进一步提高耐用性MS-500设备规

TORAY东丽 日本进口 --氧气浓度计 MS-500

TORAY东丽 日本进口 --氧气浓度计 MS-500

TORAY东丽 日本进口 --氧气浓度计 MS-500


氧气浓度计MS-500

MS-500

  • 最多可同时测量 8 个点

  • 可显示从 ppm 级到 100% 的多种浓度。

  • 最适合安装在半导体制造设备、真空设备等上。

  • 直插式传感器(真空NW法兰16/25/40)

  • 高耐用传感器采用特殊涂层,进一步提高耐用性

MS-500设备规格

测量原理氧化锆浓差电池类型
形状分体式(传感器:壁挂式、传感器:直插式)
显示方式数字4位显示(浓度显示)
测量范围0-1 / 10 / 100 / 1000ppm / 1 / 10 / 100vol%O 2 10 -20 ~10 -0 atm
自动量程
重复性±0.5%FS 0-1% 量程或更高
,以及 ±1%FS 或 ±0.1ppm(以较大者为准) 小于 0-1% 量程
0-1ppm,atm 范围超出保证浓度范围
测量点数1-8
样气条件压力10 -3 ~200KPa(绝压)
流量0.5至5,000mL/min或0mL/min(自然扩散状态的测量)
湿度露点低于环境温度
温度0~100℃
其他的不含腐蚀性气体(氟气、氯气、硫化物气体等)、含有机硅的气体、可燃性成分(包括瓦斯)、油类、水分。
比较气体气氛
录音机输出仅传输输出
变速输出RS-232C
报警输出没有任何
热身时间6分钟内
尺寸MS-500(控制器)92(宽)×44(高)×120(深)(不含突出部分)
MS-510(转换器)100(宽)×40(高)×88(深)(不含突出部分)
传感器单元SD16NW总长100mm(传感部分Φ11×39、本体部分Φ40×51)
SD25NW总长100mm(传感部分Φ11×42、本体部分Φ40×48)
SD40NW总长100mm(传感部分Φ11×41、本体部分Φ40×49)
大量的MS-500(控制器)约0.6公斤
MS-510(转换器)约0.5公斤
传感器单元SD16NW约0.2公斤
SD25NW约0.2公斤
SD40NW约0.35公斤
外部连接任一真空法兰(NW16、25、40)
使用电源24VDC±10%


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