爱安德分享抗蚀剂涂布设备原理
2024-10-14 20:08:04
webAdmin
爱安德分享抗蚀剂涂布设备原理
如上所述，抗蚀剂涂覆设备的主要类型是旋涂机和喷涂机。旋涂机和喷涂机的涂布方法不同。
1. 旋涂机
旋涂机是一种利用离心力进行涂覆的设备。将抗蚀剂材料滴到待涂覆的物体上后，该物体高速旋转。这种旋转产生离心力，使抗蚀剂材料散布到每个角落。
使用旋涂机进行涂布时，抗蚀剂材料的扩散可能会在表面有凹凸的部分停止，因此难以在凹凸严重的表面上涂布。在这种情况下，可以使用喷涂机。
2. 喷涂机
喷涂机是采用喷涂方法的设备。通过喷涂来涂敷抗蚀剂材料。根据装置的不同，均匀涂覆的机构有多种；有些装置移动喷嘴来涂覆每个部件，有些装置在旋转待涂覆物体的同时保持喷嘴固定。