爱安德分享什么是抗蚀剂涂布设备？
抗蚀剂涂敷装置是将抗蚀剂材料涂敷到基材等目标物体的表面的装置。
抗蚀剂材料是一种由对光敏感的树脂制成的电子材料。
抗蚀剂涂布设备根据涂布方式可分为旋涂机和喷涂机。前一种类型的旋涂机通常用于抗蚀剂涂覆。旋涂机可形成厚度为1至数十微米的薄膜，适合于平坦表面的涂覆。喷涂机用于对表面不平整的三维物体进行喷涂。