爱安德介绍抗蚀剂涂布设备的应用
抗蚀剂涂敷设备所涂敷的抗蚀剂材料是用于半导体加工的材料。因此，半导体制造工艺中通常会采用抗蚀剂涂覆设备。
抗蚀剂材料在激光加工等中用作光掩模。尽管可以由操作者手动施加抗蚀剂材料，但是可能难以形成具有均匀膜厚的膜。如果有没有涂层的地方或者厚度不够的话，后续加工就会不成功，质量也会出现偏差。
从质量控制的角度来看，使用抗蚀剂涂覆装置均匀地涂覆抗蚀剂材料非常重要。