爱安德分享AMHS国产化替代加速
2024-08-22 09:39:15
webAdmin
爱安德分享AMHS国产化替代加速
尽管起步较晚，但还是有不少国产厂商选择在AMHS充分发力。新松机器人旗下的中科新松就自主研发了不少适用于半导体线边物流的核心机器人产品，比如ARV、AMR和RGV等。除此之外，中科新松还专门建立了百级洁净室，并将其投入半导体生产环境的相关测试上去。
还有新松机器人投资的新施诺半导体设备公司，由于吸收了全球排名第四的韩国AMHS供应商SYNUS，结合中韩团队的产品和技术研发，也发布了全新的第五代天车系统。第五代天车系统结合国内外先进的技术经验和软件优势，在运动流畅性、稳定性、装载时间、低震动性等性能上相较上一代产品有了飞跃提升，直行运行速度可达5.3m/s，转弯速度可达1m/s，运行过程振动控制在0.5G内，重复定位精度±1mm，稳定度重要指标MCBF超过5万。
国内另一大AMHS厂商为弥费科技，广东芯粤能半导体的8英寸晶圆厂AMHS就是由其交付的。今年弥费科技又成功完成了安徽某12英寸晶圆厂的AMHS整厂订单交付，成了为数不多能够导入12英寸晶圆产线的AMHS供应商。在该项目中，弥费科技架设了1.8km的无线供电轨道和近40台的天车。
在2024ITES深圳工业展的机器人及自动化设备展现场，我们也发现越来越多的国产机器人厂商进军半导体行业，比如节卡机器人、达明机器人和长广溪智能制造等。其对应的协作机器人、AMR等解决方案均获得了SEMI S2的安全认证，为半导体物料上下料和转运提高了生产效率。
相较于天车这样需要整厂部署的AMHS方案而言，协作机器人和AMR更适用于单个工艺流程的自动化改造，尤其是在封测厂。比如协作机器人就可以用于具备多维高速搬运要求的新一代芯片封装视觉上料机，而AMR则可以解决晶圆搬运周转卡塞的问题。