爱安德分享一些表面洁净度的分析应用
2024-08-08 19:19:13
webAdmin
爱安德分享一些表面洁净度的分析应用
部件清洗（parts clean）是一整套高度复杂的程序，需要每一步都严格进行洁净管控。随着部件清洗环节的不断增加，在一些先进制程工艺中(如45nm节点以下)，众多新材料在ITRS路线图下都需要进行表面洁净度验证。一般来说，表面洁净度表征包括以下材料：
√ 陶瓷类：石英、刚玉、玻璃、蓝宝石等；
√ 金属类：铝、不锈钢、钼及铜；
√ 塑料类：聚酰亚胺、PEEK、PTFE、聚酰亚胺胶带及氟橡胶等；
√ 涂层：电镀层、氧化层、粉末涂料等；
无损表面洁净度测试
金属
√ 酸萃取结合ICP-MS/MS 8900
浸提整个表面或部分表面
√ 局部液体刻蚀结合ICP-MS/MS 8900
使用某种特殊酸提取液进行局部区域刻蚀性提取
√ UPW提取结合ICP-MS/MS 8900
通常提取效果不如酸提取液，这种方法常用于避免酸浸提所造成的表面污渍.
有机物
√ 有机溶液浸提结合GC-MS
√ 有机溶液浸提结合傅里叶红外光谱进行定性分析
√ UPW提取结合TOC分析
离子
√ UPW提取结合离子色谱分析Cl-,F-,SO4-,PO4-,NO3-,Br-等离子
颗粒物
√ UPW提取结合LPC分析
